一種新型納米銀導電薄膜制備方法技術

本發明磚利技術是一種新型納米銀導電薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)取適量納米銀混合于正型的光阻中；(2)攪拌；(3)將步驟(2)攪拌好的混合物均勻涂覆于基板表面，形成濕膜；(4)對步驟(3)形成的濕膜層進行黃光曝光；(5)對步驟(4)形成的薄膜結構進行顯影操作，將該薄膜結構圖案化；(6)對步驟(5)形成的圖案化的薄膜采用氬等離子體輻照；(7)在步驟(6)所得薄膜表面涂覆碳納米管涂層。

Preparation method of novel nano silver conductive film

The present invention relates to a preparation method of nano silver conductive film, characterized by comprising the following steps: (1) apply photoresist silver nano hybrid Yu Zheng type; (2) mixing; (3) the step (2) well stirred mixture evenly coated on the surface of the substrate, forming a wet film; (4) to step (3) formation of the wet film is yellow light exposure; (5) to step (4) thin film structure formed by the developing operation, the structure of thin film patterning; (6) to step (5) thin film forming patterned with argon plasma irradiation; (7) in step (6 the carbon nanotube coating film) coated on the surface of the.

【技術實現步驟摘要】
一種新型納米銀導電薄膜制備方法
本磚利技術涉及納米銀導電薄膜
，尤其涉及一種新型納米銀導電薄膜制備方法。
技術介紹
目前生產廠家多采用黃光工藝制備納米銀導電薄膜，但是傳統制備方法還需要經過蝕刻、剝膜等程序，操作起來相當復雜，且生產出來的納米銀導電薄膜導電性并不理想；另外，現有納米銀薄膜易氧化、易脫落。因此，需要在制備方法上做出改進。
技術實現思路
本磚利技術旨在解決現有技術的不足，而提供一種新型納米銀導電薄膜制備方法。本磚利技術為實現上述目的，采用以下技術方案：所述的一種新型納米銀導電薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)取適量納米銀混合于正型的光阻中；(2)攪拌；(3)將步驟(2)攪拌好的混合物均勻涂覆于基板表面，形成濕膜；(4)對步驟(3)形成的濕膜層進行黃光曝光；(5)對步驟(4)形成的薄膜結構進行顯影操作，將該薄膜結構圖案化；(6)對步驟(5)形成的圖案化的薄膜采用氬等離子體輻照；(7)在步驟(6)所得薄膜表面涂覆碳納米管涂層。優選地，步驟(6)所述的氬等離子體輻照薄膜的操作方式為：將步驟(5)所得薄膜置于磁控濺射真空鍍膜設備中，將鍍膜室內抽至5.5×10-4Pa，接著向鍍膜室內通入純氬氣，調節鍍膜室內真空度至6.2Pa,以射頻功率3w及基體偏壓55V的條件，使設備內形成氬等離子體，輻照納米銀薄膜7秒。優選地，所述基板為PET基板或者鋼化玻璃基板。優選地，步驟(5)所得納米銀薄膜厚度在17nm至27nm之間。本磚利技術的有益效果是：本磚利技術在制取納米銀導電薄膜過程中省略了蝕刻、剝膜，操作程序得以簡化，省時省力；*后加上氬等離子體對薄膜輻...

【技術保護點】
一種新型納米銀導電薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)取適量納米銀混合于正型的光阻中；(2)攪拌；(3)將步驟(2)攪拌好的混合物均勻涂覆于基板表面，形成濕膜；(4)對步驟(3)形成的濕膜層進行黃光曝光；(5)對步驟(4)形成的薄膜結構進行顯影操作，將該薄膜結構圖案化；(6)對步驟(5)形成的圖案化的薄膜采用氬等離子體輻照；(7)在步驟(6)所得薄膜表面涂覆碳納米管涂層。

【技術特征摘要】
1.一種新型納米銀導電薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)取適量納米銀混合于正型的光阻中；(2)攪拌；(3)將步驟(2)攪拌好的混合物均勻涂覆于基板表面，形成濕膜；(4)對步驟(3)形成的濕膜層進行黃光曝光；(5)對步驟(4)形成的薄膜結構進行顯影操作，將該薄膜結構圖案化；(6)對步驟(5)形成的圖案化的薄膜采用氬等離子體輻照；(7)在步驟(6)所得薄膜表面涂覆碳納米管涂層。2.根據權利要求1所述的一種新型納米銀導電薄膜制備方法，其特征在于，步驟(6)所述的氬等離子...

【磚利技術屬性】
技術研發人員：潘中海，司榮美，劉彩風，

上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件?的高科技企業，公司成立２００５年，專業的光電鍍膜公司，公司產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡等光學鍍膜產品的開發和生產，為全球客戶提供上等的產品和服務。

采用德國薄膜制備工藝，形成了一套具有嚴格工藝標準的閉環式流程技術制備體系，能夠制備各種超高性能光學薄膜，包括紅外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜，應用領域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫用激光器、紅外制導、面部識別、VR/AR應用,博物館，低反射櫥窗玻璃，畫框等。