薄膜應力測試原理及應用
薄膜應力測試原理及應用
需要增透減反技術可以聯系我們上海工廠18917106313
上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件的高科技企業，公司2005年成立在上海閔行零號灣創業園區，專業的光電鍍膜公司，技術背景依托中國科學院，卷柔產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監控等光學鍍膜產品的開發和生產，為全球客戶提供上等的產品和服務。
為什么檢測薄膜應力？
薄膜應力作為半導體制程、MEMS微納加工、光電薄膜鍍膜過程中性能測試的必檢項，直接影響著薄膜器件的穩定性和可靠性，薄膜應力過大會引起以下問題：1.膜裂；2.膜剝離；3.膜層皺褶；4.空隙。
測試原理
薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,通過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 帶入Stoney’s Equation計算出應力。
測試案例
壓電MEMS器件
樣品名稱：Si晶圓<100>
樣品尺寸：6inch
樣品厚度：675um
薄膜厚度：10200?
薄膜材料：AlN
MEMS
樣品信息：
樣品名稱：LiNbO?
樣品尺寸：6inch
樣品厚度：500um
薄膜厚度：2900?
薄膜材料：復合金屬層
LED器件芯片
樣品信息：
樣品材質：Si晶圓<111>
樣品尺寸：4inch
樣品厚度：475um
薄膜厚度：500nm
薄膜材料：Ni
電子顯示器件
樣品信息：
樣品名稱：Si晶圓<100>
樣品尺寸：4inch
樣品厚度：500um
薄膜厚度：8012.1?
薄膜材料：SiON
來源：米格實驗室
關于我們
上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件的高科技企業，公司2005年成立在上海閔行零號灣創業園區，專業的光電鍍膜公司，技術背景依托中國科學院，卷柔產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監控等光學鍍膜產品的開發和生產，為全球客戶提供上等的產品和服務。
采用德國薄膜制備工藝，形成了一套具有嚴格工藝標準的閉環式流程技術制備體系，能夠制備各種超高性能光學薄膜，包括紅外薄膜、增透膜，ARcoating,激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜，應用領域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫用激光器、光學科研，紅外制導、面部識別、VR/AR應用,博物館，低反射櫥窗玻璃，畫框，工業燈具照明，廣告機，點餐機，電子白板，安防監控等。卷柔新技術擁有自主知識產權的全自動生產線【sol-gel溶膠凝膠法鍍膜線】，這條生產線能夠生產全球先進的減反射玻璃。鍍膜版面可達到2440*3660mm，玻璃厚度從0.3mm到12mm都可以,另外針對PC,PMMA方面的增透膜也具有量產生產能力。ARcoating減反膜基本接近無色,色彩還原性好，并且可以避免了磁控濺射的缺點，鍍完增透膜后玻璃可以做熱彎處理和鋼化處理以及DIP打印處理。這個難度和具有很好的應用性，新意突出，實用性突出，濕法鍍膜在價格方面也均優于真空磁控的干法。
卷柔減反射(AR)玻璃的特點:高透,膜層無色,膜硬度高,抗老化性強(耐候性強于玻璃),玻璃長期使用存放不發霉,且有一定的自潔效果.AR增透減反膜玻璃產品廣泛應用于**文博展示、低反射幕墻、廣告機玻璃、節能燈具蓋板玻璃、液晶顯示器保護玻璃等多行業。
我們的愿景：卷柔讓光學更具價值！
我們的使命：有光的地方就有卷柔新技術！
我們的目標：以高質量的產品，優惠的價格,貼心的服務，為客戶提供優良的解決方案。
上海卷柔科技以現代鍍膜技術為核心驅動力，通過鍍膜設備、鍍膜加工、光學鍍膜產品服務于客戶，努力為客戶創造新的利潤空間和競爭優勢，為中國的民族制造業的發展貢獻力量。
