對于單片膜色不均勻產(chǎn)生的原因
對于單片膜色不均勻產(chǎn)生的原因：
主要是由于基片凹凸嚴重，與傘片曲率差異較大，基片上部、或下部法線與蒸發(fā)源構(gòu)成的蒸發(fā)角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大，形成的膜厚差異大。
另外鏡片被鏡圈（碟片）邊緣部遮擋、鏡圈（碟片）臟在蒸鍍時污染鏡片等等也會造成膜色差異問題。
改善思路：改善鏡片邊緣的蒸發(fā)角。
改善對策：
㈠ 條件許可，用行星夾具；
㈡ 選用傘片平坦（R大）的機臺；
㈢ 根據(jù)傘片孔位分布，基片形狀，制作專門的鋸齒形修正板。
㈣ 如果有可能，把蒸發(fā)源往真空室中間移動，也可改善單片的膜色均勻性。
㈤ 改善鏡圈（碟片），防止遮擋。
㈥ 注意旋轉(zhuǎn)傘架的相應(yīng)部位對邊緣鏡片的部分遮擋
㈦ 清潔鏡圈（碟片）
㈧ 改善膜料蒸發(fā)狀況。
四、膜臟（也稱白壓克）
顧名思義，膜層有臟。一般的膜臟發(fā)生在膜內(nèi)或膜外。臟可以包括：灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。（灰塵點和白霧單列）
改善思路：檢討過程，杜絕臟污染。
改善對策：
㈠ 送交洗凈或擦拭的鏡片不要有過多的不佳附著物；
㈡ 加強鍍前鏡片的洗凈率或擦凈率；
㈢ 改善上傘后待鍍鏡片的擺放環(huán)境，防治污染；
㈣ 養(yǎng)成上傘作業(yè)員的良好習(xí)慣，防治鏡片污染（指紋印、口水點及其它）；
㈦ 加快真空室護板更換周期；
㈧ 充氣管道清潔，防治氣體充入時污染；
㈨ 初始排氣防渦流（湍流），初始充氣防過沖；
㈩ 鏡片擺放環(huán)境和搬運過程中避免油污、水汽（磨邊、超聲波清洗）污染。
（十一） 工作環(huán)境改造成潔凈車間
（十二） 將鍍膜機作業(yè)面板和主機隔開，減少主機產(chǎn)生的有害物質(zhì)污染鏡片。
四/1、灰點臟
現(xiàn)象：鏡片膜層表面或內(nèi)部有一些點子（不是膜料點）有些可以擦除，有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產(chǎn)生。
產(chǎn)生原因：
1、真空室臟，在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護板的臟灰?guī)У界R片上，形成灰點層。（膜內(nèi)，不能擦除，會有點狀脫膜）
2、鏡圈或碟片臟，有浮點灰塵，在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。（膜內(nèi)，不能擦除，會有點狀脫膜）
3、鏡片上傘時就有灰塵點，上傘時沒有檢查挑選。（膜內(nèi)，不能擦除，會有點狀脫膜）
4、鍍制完成后的環(huán)境污染是膜外灰點的主要成因，特別是當鏡片熱的時候，更容易吸附灰塵，而且難以擦除。（膜外）
5、真空室充氣口環(huán)境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟，充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不佳的原因。（膜外）
6、作業(yè)員人為帶來的灰塵污染（膜內(nèi)膜外）
7、工作環(huán)境中灰塵過多
改善思路：杜絕灰塵源
改善對策：
㈠ 工作環(huán)境改造潔凈車間，嚴格按潔凈車間規(guī)范實施。
㈡盡可能做好環(huán)境衛(wèi)生。盡量利用潔凈工作臺。
㈢真空室周期打掃，保持清潔。
四/2、膜外白霧
現(xiàn)象：鍍膜完成后，表面有一些淡淡的白霧，用丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現(xiàn)象。用氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（又稱：可擦拭壓克）
分析：膜外白霧的成因較為復(fù)雜，可能的成因有：
① 膜結(jié)構(gòu)問題：外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散，外層膜太粗糙；
② 蒸發(fā)角過大，膜結(jié)構(gòu)粗糙。
③ 溫差：鏡片出罩時內(nèi)外溫差過大
④ 潮氣；鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣
⑤ 真空室內(nèi)POLYCOLD解凍時水汽過重
⑥ 蒸鍍中充氧不完全，膜結(jié)構(gòu)不均勻
⑦ 膜與膜之間的應(yīng)力
改善思路：膜外白霧成因很多，但各有些特征，盡量對癥下藥。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善環(huán)境減少吸附的對象。
改善對策：
㈠ 改善膜系，外層加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善鏡片出罩時的環(huán)境（干燥、清潔）
㈡ 降低出罩時的鏡片溫度（延長在真空室的冷卻時間）減少溫差、降低應(yīng)力。
㈢ 改善充氧（加大），改善膜結(jié)構(gòu)。
㈣ 適當降低蒸發(fā)速率，改善柱狀結(jié)構(gòu)
㈤ 離子輔助鍍膜，改善膜結(jié)構(gòu)
㈥ 加上polycold解凍時的小充氣閥（其功能是及時帶走水汽）
㈦ 從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角。
㈧ 改善基片表面粗糙度。
㈨ 注意polycold解凍時的真空度。
四/3、膜內(nèi)白霧
白霧形成在膜內(nèi)，無法用擦拭方法祛除。
可能的成因：
① 基片臟，附著前工程的殘留物
② 鏡片表面腐蝕污染
③ 膜料與膜料之間、膜料與基片之間的匹配。
④ 氧化物充氧不夠。
⑤ **層氧化鋯膜料，可能對某些基片產(chǎn)生白暈現(xiàn)象
⑥ 基片進罩前（洗凈后）受潮氣污染
⑦ 洗凈或擦拭不佳，洗凈痕跡、擦拭痕跡
⑧ 真空室臟、水氣過重
⑨ 環(huán)境濕度大
改善思路：基片本身的問題可能是主要的，鍍膜是盡量彌補，鍍膜本身*大的可能是膜料匹配問題。
改善對策：
㈠改進膜系，**層不用氧化鋯。
㈡盡量減少真空室開門時間，罩與罩之間在*短的時間內(nèi)做好真空室的清潔、鍍膜準備工作。
㈢真空室在更換護板、清潔后，*好能空罩抽真空烘烤一下，更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。
㈣改善環(huán)境
㈤妥善保護進罩前在傘片上的鏡片，免受污染。
㈥改善洗凈、擦拭效果。
㈦改善膜匹配（考慮**層用Al2O3）
㈧改善膜充氧和蒸發(fā)速率（降低）
㈨加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。
㈩拋光加工完成的光面，必須立即清潔干凈，不能有拋光粉或其他雜質(zhì)附著干結(jié)。
五、色斑
色斑（也稱膜色壓克、燒蝕）是指鏡片上的膜色局部變異（一般不規(guī)則）。有膜內(nèi)色斑（含膜層色斑）和膜外色斑二種。
有時會出現(xiàn)規(guī)則的局部區(qū)域（如凹鏡片的中心或環(huán)狀區(qū)域等）膜色變異。
色斑產(chǎn)生的原因：
局部折射率變異：所謂膜色是薄膜光譜特性的反映，薄膜光譜分光特性的設(shè)計和達成是建立在一定折射率基片的基礎(chǔ)上，如果基片局部折射率改變，那么所鍍的膜層在局部的光譜分光特性也有變化。局部點的膜色就會有變異，形成膜內(nèi)色斑的。
鍍膜中和鍍膜后由于種種原因，使得膜層的局部折射率變異，形成膜層或膜外色斑。
膜外色斑一般較淺，可以用拋光粉或碳酸鈣分擦掉，如果是中間層或底層膜層局部折射率變異的膜層色斑，就不能用拋光粉或碳酸鈣粉擦拭去掉了。
分辨膜內(nèi)膜層和膜外色斑的一個有效手段是用拋光粉或碳酸鈣粉擦拭。
膜內(nèi)、膜層、膜外色斑的處理對策是不同的。
膜內(nèi)色斑產(chǎn)生來源：
基片上局部折射率改變大都是由于基片局部被腐蝕造成的。腐蝕層一般形成一層極薄的低折射率層。
1．前道加工過程中工裝夾具、加工方法帶來的。
這個局部可能大，也可能小，還可能大部，由此可能會有大小不等的色斑。這種色斑有一個特征，色斑的形狀規(guī)則、部位一致、界線分明。
2．周轉(zhuǎn)、運輸、庫存產(chǎn)生。
有些基底本身的化學(xué)特性較差，如H-ZK9，耐潮、耐酸性能很弱，在前加工過程中不可避免的會與水接觸，會與潮濕空氣接觸，形成腐蝕，如果前加工與鍍膜的周期長（超過5小時）就容易產(chǎn)生膜內(nèi)色斑，如果是反射膜、紅外截至膜，這種色斑就會非常明顯，還有可能剛鍍完是良品，若干天后還會有色斑顯出而成為不佳品。
3．研磨拋光工程在鏡片表面完工后沒有及時將表面處理干凈，殘留的拋光粉、液等干結(jié)在鏡片表面，對鏡片產(chǎn)生腐蝕或污染。這種腐蝕或污染不能用洗凈或擦拭的方法祛除，鍍膜后顯現(xiàn)的就是色斑。
4．研磨拋光所用拋光液的PH值匹配沒有受控，影響鏡片在研磨加工到鍍膜加工之間的化學(xué)穩(wěn)定。
膜層和膜外色斑產(chǎn)生來源
1．鍍膜后，膜層的空隙中滲透了難以消除的雜質(zhì)，改變了局部膜層的折射率，從而膜外形成色斑。
2．鍍膜過程中，有些高折射率基片的溫度過高，造成局部膜層（也有可能是膜層和基片的結(jié)合部）折射率變異。也會造成膜層色斑產(chǎn)生。
3．膜系匹配中，有的膜層太薄，結(jié)晶處于不穩(wěn)定狀態(tài)，也可能產(chǎn)生膜層色斑。
4．膜系的膜料選擇與基片材料的匹配不好，也是膜層色般的產(chǎn)生原因之一。
5．機組的微量返油，在鏡片或膜層中形成局部的極薄的油斑，也是膜層色斑的產(chǎn)生原因，此類色斑處的膜強度一般較差些。
膜內(nèi)色斑改善對策：
一、 加快研磨（拋光）到鍍膜的周期，減少鏡片被污染腐蝕的幾率，注意：是鏡片的全部拋光面。
二、 拋光加工中，注意對另一已拋好光的面保護
三、 注意拋光加工中的工裝、夾具、加工方法，以免造成對鏡片表面局部腐蝕傷害。
四、 拋光加工完成的光面，必須立即清潔干凈，不能有拋光粉或其他雜質(zhì)附著干結(jié)。
五、 控制研磨拋光液的PH值。
六、 鍍膜前，用拋光粉（氧化鈰、氧化鐵）或碳酸鈣粉（用甘油或水調(diào)和）對鏡片拋光面復(fù)新。并盡快清潔干凈。
七、 加強鍍前的離子轟擊
八、 對于可見光區(qū)減反膜，在滿足技術(shù)要求的前提下設(shè)計制作成單峰形，反射色呈淡綠色，掩蓋色斑
九、 對于化學(xué)性能較好的鏡片，在清洗前先用退膜液或稀酸液浸泡去除腐蝕斑。
十、 選擇合適的膜層匹配對色斑改善也有幫助。
十一、 提高基片鍍制時的溫度，加快水汽的徹底揮發(fā)。（但可能會有 膜層色斑產(chǎn)生，要根據(jù)具體情況分析對策。）
十二、 **層鍍上Al2O3膜層一般會有好的改善效果。
膜層、膜外色斑改善對策：
一、 對減反膜，設(shè)計條件許可時，外層加以SiO2層，10nm左右即可（一般的外層膜是MgF2）。使外層趨于光滑、致密，減少有害物質(zhì)的侵蝕。（如果鍍后離子轟擊SiO2層會粗糙。）
二、 適當降低蒸鍍速率（在一定范圍內(nèi)）提高膜層光滑度，減少吸附。
三、 鏡片在出罩后，待冷卻后再下傘和擦拭。
四、 鏡片在出罩后，放置在潔凈干燥的場合待冷卻。減少污染可能。
五、 用碳酸鈣粉，輕擦去除外層附著物。
六、 改善工作環(huán)境的濕度、溫差。
七、 改善充氣口附近的環(huán)境，使充入的大氣干燥、潔凈。
八、 工作人員的個人衛(wèi)生（口罩、服裝、手套、指套等）改善。
九、 檢討真空室返油狀況，防止返油。
十、 適當降低基片溫度；（不能影響膜強度）
十一、 改善膜系，取消太薄的膜層，根據(jù)硝材特性，選擇合適的膜層材料。
